一般区分为滚珠线性滑轨及气浮滑轨两种，滚珠线性滑轨的干涉及变形较大，比较少使用在大型机台；现今的主流为气浮滑轨，其原理为压缩空气在空气轴承与轨道间形成一个几微米(um)低摩擦力及低阻力的空气层，也就是说空气轴承会浮在轨道上，这时便可轻易移动。传动方式分手动、马达传动两种。一般有三种机型区分：  

1.手动量测直接拉著Z轴或人工旋转手轮来移动。  

2.电控量测移动轴安装马达，利用摇杆或电子手轮来控制移动。  

3.CNC(DCC)自动量测移动轴均安装伺服马达，并利用电控系统，在程式指令下可自动量测。  

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